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15061365230石英玻璃气体扩散与渗透性能 由于石英玻璃网络结构中有很多不规则的空隙，使许多气体有可能进行扩散和渗透，特点是原子直径比较小的气体如氦、氖、氢等在石英玻璃中渗透性比较大，而氮、氧等原子比较大,活度比较小的气体，即使在600-700oC温度下，在石英玻璃中渗透扩散是较低的，故石英玻璃可作10-5-10-6mmHg负压和加热情况下的操作器皿，可用在高温真空设备中。
离子在石英玻璃的扩散系数 |
 | 透明石英玻璃 | 不透明石英玻璃 |
Na+ | 2×10-4 | 5×10-5 |
Ca2+ | 2×10-8 | |
Al3+ | <10-12 | <10-12 |
Ag+ | <10-5 | <10-7 |
| 注：在1100oC下的扩散系数（单位为：cm2/秒） |
石英玻璃容器连续抽真空所能得到的高真空度 |
 | 20 | 900 |
透明石英玻璃 | 3.7×10-6 | 7.0×10-6 |
不透明石英玻璃 | 1.0×10-5 | 7.4×10-6 |
石英玻璃的透气常数K（×10-10cm3.mm/秒.cm2） |
气体 | 透气常数K | ||||||
200oC | 400oC | 600oC | 700oC | 800oC | 900oC | 1000oC | |
氦 | 1.39 | 6.15 | 16.4 | 21.9 | 28.5 | 36.2 | 45.4 |
氢 | 0.022 | 0.37 | 1.43 | 2.52 | 4.25 | 6.40 | 10.00 |
重氢 | 17 | ||||||
氖 | 2.8 | 4.2 | |||||
氩 | <10-15 | ||||||
氧 | <10-15 | ||||||
氮 | <10-15 | ||||||
| 产品质量检测执行标准： GB9657-88 半导体用透明石英玻璃； GB9658-88 光源及真空仪表用透明石英玻璃 |
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